nanoLIGHT集成XUV光谱仪/光斑分析仪 　　对于XUV光束原位周期性采样，nanoLIGHT是一款完整的表征仪器。nanoLIGHT将XUV光谱仪和XUV光束分析仪的功能集于一身，可以完全收回光束旁路。可以快速且自动实现各种工作模式之间的切换。   产品详情 　　产品简介 　　● 旁轴光路原位光斑表征 　　● 光谱仪和光束分析仪 　　● 波长覆盖范围为10 ~ 80nm 　　● 快速简易的集成 　　● 紧凑型多功能设备 　　对于XUV光束原位周期性采样，nanoLIGHT是一款完整的表征仪器。nanoLIGHT将XUV光谱仪和XUV光束分析仪的功能集于一身，可以完全收回光束旁路。可以快速且自动实现各种工作模式之间的切换。 　　凭借其16x17cm²的紧凑结构，nanoLIGHT适用于狭小的实验设置，是一个完美的改造解决方案。 　　nanoLIGHT可同时记录10-80nm的极宽波长范围，其滤光片插入单元允许使用金属滤光片进行选择和校准。 　　高达20%的全谱光栅效率和灵敏度可调的MCP探测器使得光谱仪具有大的动态范围。 　　定制的腔内版本的nano...