SPARKEOS闪光固体脉冲激光器---Photonics Industries
固体脉冲激光器---Photonics Industries
2022年1月份，Photonics Industries在SPIE Photonics West 2022展会上推出了全新的飞秒(fs)脉冲宽度激光器系列FSX系列，FSX脉宽可调飞秒激光器共有4种型号，分别为：FSX-1030-5，FSX-1030-20，FSX-1030-40，FSX-1030-80。该系列可以让用户获得指定的脉冲宽度，以填补用户某些应用项目的激光器空白，例如以下应用：
-超快高精度切割、钻孔、焊接、划线、打标、内打标、图案化、最小热影响区(HAZ)去面板
-平板显示器维修，LCD/LED/OLED维修
-疏水材料制造、亲水材料制造、超快激光辅助蚀刻(ULAE)系统、复杂3D表面微结构
-太赫兹(THz)产生、高次谐波产生(HHG)、X射线产生、OPO放大器系统
-激光粒子加速器系统
-角度/时间分辨光电发射光谱系统、飞秒激发拉曼光谱(FSRS)系统、多光子荧光显微镜系统
PI飞秒激光器参数：
| 脉宽可调飞秒激光器型号 | FSX-1030-5 | FSX-1030-20 | FSX-1030-40 | FSX-1030-80 |
| 激光输出规格 | ||||
| 波长 | 1030±8nm | |||
| 平均功率 | 5W at 100kHz | 20W at 1MHz | 40W at 1MHz | 80W at 1MHz |
| 最大波长能量 | 50μJ | 20μJ | 40μJ | 80μJ |
| Pulse width1 | <350 fs to 20 ps | <450 fs to 20 ps | ||
| 脉中重复频率 | 单发至2兆赫(可选高达40兆赫) | |||
| 1MHz时脉中对脉中的稳定性 | ~2%rms | |||
| 电源稳定性(8H) | ~1%rms | |||
| Beam spatial mode | TEM00 M2~1.3 | |||
| 波束指向稳定 | <20 μrad | |||
| 操作规范和系统特性 | ||||
| 接口 | RS232、以太网、软件GU1、外部TTL触发 | |||
| 预热时间 | <15分钟 | |||
| 电气要求 | 100-240V AC;or32V DC,15A | |||
| 线频率 | 50-60Hz | |||
| 温度 | 环境温度15°C至309C(59°F至86°F)工作范围，最大相对湿度90%，无冷凝 | |||
| 电力消耗 | <600W | <800W | ||
| 尺寸 | 24x12x6.75英寸 | 24x12x3.73英寸 | 28.5x12.5x3.75英寸 | |
| 重量 | -75lbs | -70lbs | -80lbs | |
| 震动 | 高达3g | |||
| 冷却系统 | 风冷 | 闭环制冷机 | ||
FSX飞秒激光器概述
除了用户可指定的从350fs到20ps的脉冲宽度外，与其他fs激光器竞争对手相比，FSX系列激光器采用全新的革命性封装，具有更小的外形尺寸和更高的性能。FSX在最简单、紧凑的AIO(一体机)平台上提供5W至80W的IR，以及可选的绿色光、UV和DUV输出，所有这些都具有高重复率的TEM00模式质量(即M2~1.3)高达40MHz PRF输出，可通过多边形扫描仪以最高吞吐量进行处理。
控制界面允许总脉冲控制和突发模式操作，脉冲数量可选择，具有可调节的增量间隔和一定可编程的空间，可以在包络中释放，进一步提高许多材料的烧蚀率。凭借可调节的重复率，用户可以通过PEC(功率或脉冲能量控制)功能即时更改操作PRF并更改操作功率或脉冲能量，以最大限度地提高工艺灵活性。
FSX脉宽可调飞秒激光器特点：
-具有超短脉冲(~400fs)的高功率激光(IR中高达80W)
-可变脉冲宽度(可以从指定增加)
-波长范围广：可根据要求提供1030nm、515nm、343nm和257nm。
-最紧凑、最坚固的一体化飞秒激光器
-重复频率高达40MHz
-出色的TEM00光束，典型M2~1.3
-出色的光束指向稳定性<20μrad
-PEC(功率或脉冲能量控制)
-PSO(位置同步输出)支持对任意PRF进行外部触发，同时保持恒定、稳定的脉冲能量和低抖动。
-突发模式，用于具有可变间隔的单独可控脉冲突发。
-POD(按需脉冲)，其中间隔等于PRF的脉冲突发，可以在内部、外部或连续触发，同时保持恒定的脉冲能量。
FSX可调脉宽飞秒激光器脉冲频率能量图(kHZ)：
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