PI普爱H-824 六轴六足位移台

H-824 六轴六足位移台 紧凑、精确 负载容量达10 公斤,自锁版本 行程达45 毫米/25度 最小位移达0.3 微米 重复精度至±0.1 微米/±2微弧度 速度达25毫米/秒 可提供真空兼容版本 精密级六轴定位系统 六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容版本可达10-6百帕 折叠驱动设计,外形紧凑 应用领域 科研和工业,标准和真空环境。用于显微操纵、生物技术、半导体制造   规格 运动和定位 H-824.G2 / G2V** H-824.D2 / D2V** 单位 公差   实现更高分辨率和负载 实现更高速度     主动轴 X,Y,Z,θX,θY,θZ X,Y,Z,θX,θY,θZ     X、Y向上的行程* ±22.5 ±22.5 毫米   Z向上的行程* ±12.5 ±12.5 毫米   θX、θY向上的行程* ±7.5 ±7.5 °   θZ向上的行程* ±12.5 ±12.5 ...
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H-824 六轴六足位移台

紧凑、精确

  • 负载容量达10 公斤,自锁版本
  • 行程达45 毫米/25度
  • 最小位移达0.3 微米
  • 重复精度至±0.1 微米/±2微弧度
  • 速度达25毫米/秒
  • 可提供真空兼容版本

精密级六轴定位系统

六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容版本可达10-6百帕

折叠驱动设计,外形紧凑

应用领域

科研和工业,标准和真空环境。用于显微操纵、生物技术、半导体制造

 

规格

运动和定位
H-824.G2 / G2V**
H-824.D2 / D2V**
单位
公差

 

实现更高分辨率和负载

实现更高速度

 

 

主动轴

X,Y,Z,θX,θY,θZ

X,Y,Z,θX,θY,θZ

 

 

X、Y向上的行程*

±22.5

±22.5

毫米

 

Z向上的行程*

±12.5

±12.5

毫米

 

θX、θY向上的行程*

±7.5

±7.5

°

 

θZ向上的行程*

±12.5

±12.5

°

 

促动器设计分辨率

0.007

0.5

微米

 

X、Y和Z向上的最小位移

0.3

2; 2; 1

微米

典型值

θX、θY、θZ向上的最小位移

3.5

12; 12; 14

微弧度

典型值

X、Y向上的空回

2; 2 / 5; 5

1.5 / 3

微米

典型值

Z向上的空回

0.7 / 1.5

1 / 1.5

微米

典型值

θX、θY向上的空回

14 / 30

15 / 20

微弧度

典型值

θZ向上的空回

17 / 45

30 / 60

微弧度

典型值

X、Y向上的重复精度

±0.25 / ±0.4

±0.5

微米

典型值

Z向上的重复精度

±0.1

±0.15

微米

典型值

θX、θY向上的重复精度

±2

±3

微弧度

典型值

θZ向上的重复精度

±2 / ±3

±2.5

微弧度

典型值

X、Y和Z向上的最大速度

1 / 0.5

25 / 12.5

毫米/秒

 

θX、θY、θZ向上的最大速度

11 / 5.5

270 / 135

毫弧度/秒

 

Typ. X、Y和Z向上的典型速度

0.5 / 0.2

10 / 5

毫米/秒

 

Typ. θX、θY、θZ向上的速度

5.5 / 2.3

55 / 28

毫弧度/秒

 

机械特性
H-824.G2 / G2V**
H-824.D2 / D2V**
单位
公差

X、Y向上的刚性

1.7

1.7

牛/微米

 

Z向上的刚性

7

7

牛/微米

 

负载能力(底板为水平方向)

10 / 5

5 / 2.5

千克

最大

负载能力(底板为任意方向)

5 / 2.5

2.5 / 1.25

千克

最大

保持力(断电、底板为水平方向)

100 / 50

15

最大

保持力(断电、底板为任意方向)

50 / 25

5

最大

电机类型

直流齿轮电机

直流电机

 

 

其他
H-824.G2 / G2V**
H-824.D2 / D2V**
单位
公差

工作温度范围

-10 到 50

-10 到 50

°C

 

材料

 

 

质量

8

8

千克

±5 %

电缆长度

3

3

±10 毫米

推荐控制器

C-887.5x

C-887.5x

 

 

技术参数为 20±3 °C下的数值。
* 单个坐标(X、Y、Z、θX、θY和θZ)的行程相互依赖。本表中各轴对应的数值为其最大行程,此时其他轴和枢轴点位于参考位置。
**对于真空连续操作,由于发热,可能需要对运行参数进行限制
 

 

 

座机:0755-84670052      0755-83317701

 

手机/微信:13682357549    13246646513

 

QQ672776553 564600083   1903656788  

 

 Email672776553@qq.com     564600083@qq.com