PI普爱H-824 六轴六足位移台
H-824 六轴六足位移台
紧凑、精确
- 负载容量达10 公斤,自锁版本
- 行程达45 毫米/25度
- 最小位移达0.3 微米
- 重复精度至±0.1 微米/±2微弧度
- 速度达25毫米/秒
- 可提供真空兼容版本
精密级六轴定位系统
六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小 真空兼容版本可达10-6百帕
折叠驱动设计,外形紧凑
应用领域
科研和工业,标准和真空环境。用于显微操纵、生物技术、半导体制造
规格
运动和定位
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H-824.G2 / G2V**
|
H-824.D2 / D2V**
|
单位
|
公差
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实现更高分辨率和负载 |
实现更高速度 |
|
|
主动轴 |
X,Y,Z,θX,θY,θZ |
X,Y,Z,θX,θY,θZ |
|
|
X、Y向上的行程* |
±22.5 |
±22.5 |
毫米 |
|
Z向上的行程* |
±12.5 |
±12.5 |
毫米 |
|
θX、θY向上的行程* |
±7.5 |
±7.5 |
° |
|
θZ向上的行程* |
±12.5 |
±12.5 |
° |
|
促动器设计分辨率 |
0.007 |
0.5 |
微米 |
|
X、Y和Z向上的最小位移 |
0.3 |
2; 2; 1 |
微米 |
典型值 |
θX、θY、θZ向上的最小位移 |
3.5 |
12; 12; 14 |
微弧度 |
典型值 |
X、Y向上的空回 |
2; 2 / 5; 5 |
1.5 / 3 |
微米 |
典型值 |
Z向上的空回 |
0.7 / 1.5 |
1 / 1.5 |
微米 |
典型值 |
θX、θY向上的空回 |
14 / 30 |
15 / 20 |
微弧度 |
典型值 |
θZ向上的空回 |
17 / 45 |
30 / 60 |
微弧度 |
典型值 |
X、Y向上的重复精度 |
±0.25 / ±0.4 |
±0.5 |
微米 |
典型值 |
Z向上的重复精度 |
±0.1 |
±0.15 |
微米 |
典型值 |
θX、θY向上的重复精度 |
±2 |
±3 |
微弧度 |
典型值 |
θZ向上的重复精度 |
±2 / ±3 |
±2.5 |
微弧度 |
典型值 |
X、Y和Z向上的最大速度 |
1 / 0.5 |
25 / 12.5 |
毫米/秒 |
|
θX、θY、θZ向上的最大速度 |
11 / 5.5 |
270 / 135 |
毫弧度/秒 |
|
Typ. X、Y和Z向上的典型速度 |
0.5 / 0.2 |
10 / 5 |
毫米/秒 |
|
Typ. θX、θY、θZ向上的速度 |
5.5 / 2.3 |
55 / 28 |
毫弧度/秒 |
|
座机:0755-84670052 0755-83317701
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