PI普爱 PIMars纳米定位平台P-563.3CDP-563.3CL
P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台
用于多达3轴的高精度纳米定位系统
- 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
- 行程达300 × 300 × 300微米
- 电容式传感器带来最高线性度
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统
- 优异的扫描平面度
- 高动态XYZ版本
- 通孔尺寸66 毫米×66毫米
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 超高真空版本达10-9百帕
描述
应用领域
- 扫描显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 干涉测量
- 测量技术
- 生物技术
- 扫描和筛选
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器，实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率
规格
|
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P-561.3CDP-561.3CL
|
P-562.3CDP-562.3CL
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P-563.3CDP-563.3CL
|
P-561.3DD
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单位
|
公差
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|---|---|---|---|---|---|---|
|
PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统，闭环行程 |
100 × 100 × 100 |
200 × 200 × 200 |
300 × 300 × 300 |
45 × 45 × 15，直接驱动 |
微米 |
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运动和定位
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集成传感器 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
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-20至120伏时的开环行程 |
150 × 150 × 150 |
300 × 300 × 300 |
340 × 340 × 340 |
58 × 58 × 18 |
微米 |
+20 % / -0 % |
|
分辨率，开环 |
0.2 |
0.4 |
0.5 |
0.1 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
0.8 |
1 |
2 |
0.2 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差 |
0.03 |
0.03 |
0.03 |
0.01* |
% |
典型值 |
|
X/Y/Z向上的重复精度 |
2 / 2 / 2 |
2 / 2 / 4 |
2 / 2 / 4 |
2 / 2 / 2 |
纳米 |
典型值 |
|
X、Y向上的螺距 |
±1 |
±2 |
±2 |
±3 |
微弧度 |
典型值 |
|
θX、θY向上的串扰（Z向运动） |
±15 |
±20 |
±25 |
±3 |
微弧度 |
典型值 |
|
X、Y向上的偏转角 |
±6 |
±10 |
±10 |
±3 |
微弧度 |
典型值 |
|
X、Y向上的平面度 |
±15 |
±20 |
±25 |
±10 |
纳米 |
典型值 |
|
X、Y向上的串扰（Z向运动） |
±30 |
±50 |
±50 |
±20 |
纳米 |
典型值 |
|
机械特性
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|
|
|
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|
|
|
X/Y/Z向上的空载谐振频率 |
190 / 190 / 380 |
160 / 160 / 315 |
140 / 140 / 250 |
920 / 920 / 1050 |
赫兹 |
±20 % |
|
带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 |
- |
145 / 145 / 275 |
120 / 120 / 215 |
860 / 860 / 950 |
赫兹 |
±20 % |
|
带330克负载时X/Y/Z向上的谐振频率 |
140 / 140 / 300 |
130 / 130 / 195 |
110 / 110 / 170 |
500 / 500 / 470 |
赫兹 |
±20 % |
|
负载容量** |
5 |
5 |
5 |
5 |
千克 |
最大 |
|
驱动特性
|
|
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压电陶瓷 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAZ向上的P-885，XY向上的P-888 |
|
|
|
X/Y/Z向上的电容 |
5.2 / 5.2 / 10.4 |
7.4 / 7.4 / 14.8 |
7.4 / 7.4 / 14.8 |
38 / 38 / 6 |
微法 |
±20 % |
|
其他
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|
|
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|
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|
工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
|
|
材料 |
铝 |
铝 |
铝 |
铝 |
|
|
|
质量 |
1.45 |
1.45 |
1.45 |
1.55 |
千克 |
±5 % |
|
传感器/电压连接 |
CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO |
CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO |
CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO |
CD版本： Sub-D 25W3（公头），1.5米电缆 CL版本： LEMO |
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推荐电控 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
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座机：0755-84670052 0755-83317701
手机/微信：13682357549 13246646513
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