PI普爱P-737 PIFOC样本Z向定位器P-737.5SL
P-737 PIFOC样本Z向定位器
大孔径、低外形
- 行程达500 微米
- 通孔尺寸为128.5 毫米×86.5 毫米，以容纳孔板
- 低外形20毫米
- 与MetaMorph成像软件兼容
应用领域
- 超分辨率显微镜
- 光学圆盘显微镜
- 共聚焦显微镜
- 3D成像
- 筛选
- 干涉测量
- 测量技术
- 自动聚焦系统
- 生物技术
- 半导体测试
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
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规格
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P-737.1SL
|
P-737.2SL
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P-737.5SL
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单位
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公差
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|---|---|---|---|---|---|
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主动轴 |
Z |
Z |
Z |
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运动和定位
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集成传感器 |
应变片传感器 |
应变片传感器 |
应变片传感器 |
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-20至120 伏时的开环行程 |
150 |
280 |
550 |
微米 |
+20 % / -0 % |
|
行程，闭环 |
100 |
250 |
500 |
微米 |
|
|
分辨率，开环 |
0.8 |
1 |
1.6 |
纳米 |
典型值 |
|
分辨率，闭环 |
2.5 |
4 |
5 |
纳米 |
典型值 |
|
线性误差，闭环 |
0.2 |
0.5 |
0.8 |
% |
典型值 |
|
重复精度 |
6 |
12 |
15 |
纳米 |
典型值 |
|
倾斜θX |
±36 |
±36 |
±36 |
微弧度 |
典型值 |
|
倾斜θY |
±36 |
±100 |
±100 |
微弧度 |
典型值 |
|
机械特性
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|
谐振频率，空载 |
270 |
210 |
122 |
赫兹 |
±20 % |
|
带100 克负载时的谐振频率 |
230 |
180 |
115 |
赫兹 |
±20 % |
|
带200 克负载时的谐振频率 |
210 |
155 |
100 |
赫兹 |
±20 % |
|
运动方向上的推/拉力 |
50 / 20 |
50 / 20 |
50 / 20 |
牛 |
最大 |
|
驱动特性
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压电陶瓷 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
PICMAP-885 |
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|
电容 |
6.3 |
9.3 |
13.8 |
微法 |
±20 % |
|
其他
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工作温度范围 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
-20 到 80 |
°C |
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|
材料 |
铝 |
铝 |
铝 |
|
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尺寸 |
220.5 毫米 × 138 毫米 × 27.3 毫米 |
220.5 毫米 × 138 毫米 × 27.3 毫米 |
220.5 毫米 × 150 毫米 × 27.3 毫米 |
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|
|
质量 |
0.7 |
0.7 |
0.85 |
千克 |
±5 % |
|
电缆长度 |
2 |
2 |
2 |
米 |
±10 毫米 |
|
传感器/电压连接 |
LEMO |
LEMO |
LEMO |
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推荐电控 |
E-503、E-625、E-665、E-709 |
E-503、E-625、E-665、E-709 |
E-503、E-625、E-665、E-709 |
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