PI普爱P-518 • P-528 压电陶瓷 Z 轴/倾斜/倾斜平台P-518 号。TCD

PI普爱P-518 • P-528 压电陶瓷 Z 轴/倾斜/倾斜平台P-518 号。TCD

P-518 • P-528 压电陶瓷 Z 轴/倾斜/倾斜平台大孔径的高动态 3 轴 Z 轴和倾斜/倾斜平台 / 1 轴 Z 平台 Z 轴行程范围 / 倾斜角度可达 200 μm / 2 mrad，闭环（开环可达 240 μm / 2.4 mrad）并联运动学，可实现更快的响应时间和更高的多轴精度零间隙、高精度柔性铰链导向系统由于 PICMA® 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命通光孔径 66 mm × 66 mm 电容式传感器实现最高线性度应用领域度量衡学干涉光子学/集成光学光刻纳米定位扫描显微镜样品对齐微加工得益于 PICMA® 压电陶瓷促动器的出色使用寿命 PICMA® 压电陶瓷促动器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受潮湿和漏电流增加导致的故障的影响。PICMA® 促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长十倍。1000 亿次循环无一次故障。采用电容式传感器的亚纳米级分辨率电容式传感器以亚纳米级分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。零间隙弯曲导轨，导向精度高弯曲导轨无维护、无摩擦、无磨损...

分类：

PI普爱

大孔径的高动态

3 轴 Z 轴和倾斜/倾斜平台 / 1 轴 Z 平台
Z 轴行程范围 / 倾斜角度可达 200 μm / 2 mrad，闭环（开环可达 240 μm / 2.4 mrad）
并联运动学，可实现更快的响应时间和更高的多轴精度
零间隙、高精度柔性铰链导向系统
由于 PICMA® 压电陶瓷促动器具有出色的使用寿命
通光孔径 66 mm × 66 mm
电容式传感器实现最高线性度

应用领域

度量衡学
干涉
光子学/集成光学
光刻
纳米定位
扫描显微镜
样品对齐
微加工

得益于 PICMA® 压电陶瓷促动器的出色使用寿命

PICMA® 压电陶瓷促动器采用全陶瓷绝缘。这可以保护它们免受潮湿和漏电流增加导致的故障的影响。PICMA® 促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长十倍。1000 亿次循环无一次故障。

采用电容式传感器的亚纳米级分辨率

电容式传感器以亚纳米级分辨率进行非接触式测量。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

零间隙弯曲导轨，导向精度高

弯曲导轨无维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们在很宽的温度范围内工作。

自动配置和快速组件更换

机械师和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师的 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

由于采用平行位置测量，跟踪精度在纳米范围内很高

所有自由度均根据单个固定参考进行测量。轴之间不需要的串扰可以实时主动补偿（主动引导）（取决于带宽）。即使在动态运行中，也能在纳米范围内实现高跟踪精度

运动	P-518 号。TCD	P-518 号。零碳网	P-518 号。ZCL 系列	P-528 号。TCD	P-528 号。零碳网	P-528 号。ZCL 系列	宽容
活动轴	Z θX θY	跟	跟	Z θX θY	跟	跟
Z 轴行程范围	100 微米	100 微米	100 微米	200 微米	200 微米	200 微米
Z 轴行程范围，开环	140 微米	140 微米	140 微米	240 微米	240 微米	240 微米	±20 %
旋转范围（θX）	1 先生			2 MRAD
旋转范围（以 θY 为单位）	1 先生			2 MRAD
旋转范围（单位为 θX），开环	1.4 MRAD			2.4 MRAD			±20 %
旋转范围（单位为 θY），开环	1.4 MRAD			2.4 MRAD			±20 %
Z 轴线性误差	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	0.03 %	类型。
以 θX 为单位的线性误差	0.15 %			0.15 %			类型。
以 θY 为单位的线性误差	0.15 %			0.15 %			类型。
偏航（θX 轴上的旋转串扰，Z 轴上的运动）	± 25 μrad	± 25 μrad	± 25 μrad	± 50 μrad	± 50 μrad	± 50 μrad	麦克斯。
间距（θY 轴上的旋转串扰和 Z 轴上的运动）	± 25 μrad	± 25 μrad	± 25 μrad	± 50 μrad	± 50 μrad	± 50 μrad	麦克斯。
滚动（θZ 轴上的旋转串扰和 Z 轴上的运动）	± 5 μrad	± 5 μrad	± 5 μrad	± 10 μrad	± 10 μrad	± 10 μrad	麦克斯。
定位	P-518 号。TCD	P-518 号。零碳网	P-518 号。ZCL 系列	P-528 号。TCD	P-528 号。零碳网	P-528 号。ZCL 系列	宽容
Z 轴双向重复性	5 纳米	5 纳米	5 纳米	10 纳米	10 纳米	10 纳米	类型。
双向重复性，单位为 θX	0.05 微弧度			0.1 微弧度			类型。
双向重复性（单位为 θY）	0.05 微弧度			0.1 微弧度			类型。
Z 轴分辨率，开环	0.4 纳米	0.2 纳米	0.2 纳米	0.6 纳米	0.6 纳米	0.6 纳米	类型。
分辨率（θX），开环	0.04 微弧度			0.06 微弧度			类型。
分辨率（以 θY 为单位），开环	0.04 微弧度			0.06 微弧度			类型。
集成传感器	电容式、间接位置测量	电容式直接位置测量	电容式直接位置测量	电容式、间接位置测量	电容式直接位置测量	电容式直接位置测量
Z 轴系统分辨率	0.8 纳米	0.8 纳米	0.8 纳米	1 纳米	1 纳米	1 纳米
系统分辨率（θX）	0.05 微弧度			0.1 微弧度
系统分辨率（以 θY 为单位）	0.05 微弧度			0.1 微弧度
驱动器属性	P-518 号。TCD	P-518 号。零碳网	P-518 号。ZCL 系列	P-528 号。TCD	P-528 号。零碳网	P-528 号。ZCL 系列	宽容
驱动器类型	皮马®	皮马®	皮马®	皮马®	皮马®	皮马®
Z 轴电容	2.1 μF	8.4 μF	8.4 μF	3.7 μF 锂离子电池	14.8 μF	14.8 μF	±20 %
机械性能	P-518 号。TCD	P-518 号。零碳网	P-518 号。ZCL 系列	P-528 号。TCD	P-528 号。零碳网	P-528 号。ZCL 系列	宽容
Z 轴刚度	2.7 牛（N）/微米	2.7 牛（N）/微米	2.7 牛（N）/微米	1.5 N/微米	1.5 N/微米	1.5 N/微米	±20 %
Z 轴谐振频率，空载	500 赫兹	500 赫兹	500 赫兹	350 赫兹	350 赫兹	350 赫兹	±20 %
Z 轴谐振频率，负载为 500 g	350 赫兹	350 赫兹	350 赫兹	210 赫兹	210 赫兹	210 赫兹	±20 %
Z 轴谐振频率，负载为 2500 g	200 赫兹	200 赫兹	200 赫兹	130 赫兹	130 赫兹	130 赫兹	±20 %
谐振频率，单位为 θX，空载	530 赫兹			390 赫兹			±20 %
谐振频率（单位为 θX），负载为 500 g	370 赫兹			250 赫兹			±20 %
谐振频率，单位为 θX，负载为 2500 g	190 赫兹			115 赫兹			±20 %
谐振频率，单位为 θY，空载	530 赫兹			390 赫兹			±20 %
谐振频率，单位为 θY，负载为 500 g	370 赫兹			250 赫兹			±20 %
谐振频率，单位为 θY，负载为 2500 g	190 赫兹			115 赫兹			±20 %
Z 轴允许的推力	50 牛	50 牛	50 牛	50 牛	50 牛	50 牛	麦克斯。
Z 轴允许拉力	40 牛	40 牛	40 牛	40 牛	40 牛	40 牛	麦克斯。
指导	带杠杆放大的弯曲导板	带杠杆放大的弯曲导板	带杠杆放大的弯曲导板	带杠杆放大的弯曲导板	带杠杆放大的弯曲导板	带杠杆放大的弯曲导板
总重量	1400 克	1400 克	1400 克	1420 克	1420 克	1420 克
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝
杂项	P-518 号。TCD	P-518 号。零碳网	P-518 号。ZCL 系列	P-528 号。TCD	P-528 号。零碳网	P-528 号。ZCL 系列	宽容
工作温度范围	-20 至 80 °C	-20 至 80 °C	-20 至 80 °C	-20 至 80 °C	-20 至 80 °C	-20 至 80 °C
连接器	D-sub 25W3 （公头）	D-sub 7W2 （男）	莱莫 LVPZT	D-sub 25W3 （公头）	D-sub 7W2 （男）	莱莫 LVPZT
电缆长度	1.5 米	1.5 米	1.5 米	1.5 米	1.5 米	1.5 米
推荐的控制器/驱动程序	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754

Z 轴允许的推/拉力：水平安装时（站在表面上，而不是悬挂）。

电容：按通道指定（请参阅用户手册中的引脚分配）。

系统的分辨率仅受放大器和测量技术的噪声限制，因为 PI 压电纳米定位系统没有摩擦。

所有规格均基于室温（22 °C ±3 °C）

座机：0755-84670052 0755-83317701

手机/微信：13682357549 13246646513

QQ：672776553 564600083 1903656788

Email：672776553@qq.com 564600083@qq.com

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