PI普爱N-472 PiezoMike线性促动器N-472.12V
N-472 PiezoMike线性促动器
带用于闭环操作的位置传感器
- 高稳定性,保持力高达100N
- 即使闭环控制打开了,静止状态下也可自锁
- 设计紧凑且带集成增量编码器
- 进给力为22N
- 在普通环境条件下,使用寿命>10亿步;在真空条件下,使用寿命>5千万步
惯性驱动
外形紧凑、价格便宜的惯性驱动原理(粘-滑)。 静止状态下,驱动器自锁,无需电流,不产生热量。 其能用最大的力保持住位置。
集成位置传感器
增量编码器测量相对于自由定义的参考位置进行的运动。
机械和光学机械部件的校准
光程的稳定校准。 长期位置稳定性:目标位置上的高稳定性,较长时间停机后仍能可靠启动。 通过将压电陶瓷促动器与机械螺纹平移结合后实现高保持力和高分辨率。 真空兼容型适用于10-6hPa
规格
运动 | N-472.110 | N-472.110Y | N-472.11V | N-472.120 | N-472.120Y | N-472.12V | 公差 |
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主动轴 | X | X | X | X | X | X | |
X向上的行程 | 7 mm | 7 mm | 7 mm | 7 mm | 7 mm | 7 mm | |
X向上的最大速度,空载 | 2 mm/min | 2 mm/min | 2 mm/min | 2 mm/min | 2 mm/min | 2 mm/min | |
X向上的线性误差 | 0.3 % | 0.3 % | 0.3 % | 0.3 % | 0.3 % | 0.3 % | typ. |
定位 | N-472.110 | N-472.110Y | N-472.11V | N-472.120 | N-472.120Y | N-472.12V | 公差 |
X向上的最小位移 | 50 nm | 50 nm | 50 nm | 50 nm | 50 nm | 50 nm | typ. |
X向上的单向重复精度 | ± 200 nm | ± 200 nm | ± 200 nm | ± 200 nm | ± 200 nm | ± 200 nm | typ. |
集成传感器 | 增量角度测量系统 | 增量角度测量系统 | 增量角度测量系统 | 增量角度测量系统 | 增量角度测量系统 | 增量角度测量系统 | |
传感器信号 | 正弦/余弦,1Vpp | 正弦/余弦,1Vpp | 正弦/余弦,1Vpp | 正弦/余弦,1Vpp | 正弦/余弦,1Vpp | 正弦/余弦,1Vpp | |
驱动性能 | N-472.110 | N-472.110Y | N-472.11V | N-472.120 | N-472.120Y | N-472.12V | 公差 |
驱动类型 | 压电惯性驱动器 | 压电惯性驱动器 | 压电惯性驱动器 | 压电惯性驱动器 | 压电惯性驱动器 | 压电惯性驱动器 | |
工作电压,峰峰值 | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | 80 V | |
最大功耗 | 5 W | 5 W | 5 W | 5 W | 5 W | 5 W | |
X向上的正向运动的驱动力 | 22 N | 22 N | 22 N | 22 N | 22 N | 22 N | max. |
连续运行期间的最大工作频率 | 400 Hz | 400 Hz | 200 Hz | 400 Hz | 400 Hz | 200 Hz | |
短期最大工作频率 | 2000 Hz | 2000 Hz | 2000 Hz | 2000 Hz | 2000 Hz | 2000 Hz | |
机械性能 | N-472.110 | N-472.110Y | N-472.11V | N-472.120 | N-472.120Y | N-472.12V | 公差 |
X向上的保持力,被动 | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | 100 N | min. |
总质量 | 200 g | 200 g | 250 g | 200 g | 200 g | 250 g | |
材料 |
螺丝:不锈钢;外壳:铝,青铜 |
螺丝:不锈钢;外壳:铝,青铜 |
螺丝:不锈钢;外壳:铝,青铜 |
螺丝:不锈钢;外壳:铝,青铜 |
螺丝:不锈钢;外壳:铝,青铜 |
螺丝:不锈钢;外壳:铝,青铜 |
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机械接口 | M10×1安装螺纹 | M10×1安装螺纹 | M10×1安装螺纹 | 9.5mm夹紧螺栓 | 9.5mm夹紧螺栓 | 9.5mm夹紧螺栓 | |
其他 | N-472.110 | N-472.110Y | N-472.11V | N-472.120 | N-472.120Y | N-472.12V | 公差 |
工作温度范围 | 10到40 °C | 10到40 °C | 10到40 °C | 10到40 °C | 10到40 °C | 10到40 °C | |
真空等级 | — | — | 10⁻⁶ ǀ hPa | — | — | 10⁻⁶ ǀ hPa | |
连接器 | D-sub 15针(公头) | D-sub 15针(公头) | D-sub 15针(公头) | D-sub 15针(公头) | D-sub 15针(公头) | D-sub 15针(公头) | |
电缆长度 | 2 m | 2 m | 1 m | 2 m | 2 m | 1 m | |
推荐控制器/驱动器 |
E-873.1AT |
E-873.1AT |
E-873.1AT |
E-873.1AT |
E-873.1AT |
E-873.1AT |
最大速度不适用于连续操作(请参见用户手册)
线性误差:20N预载,全行程测量,温度漂移补偿。
单向重复精度/最小位移:20N预载,100µm行程处测量,温度漂移补偿
真空兼容型的电缆长度:促动器上有1m连接电缆,电缆末端为绞线;2m独立连接电缆,D-sub 15针连接器(公)连接绞线。
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PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明,所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值,并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中,我们只检测选定的属性,而不是全部属性。请注意,产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降
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