PI普爱N-310 NEXACT OEM 微型直线电机/执行器
N-310 NEXACT OEM 微型直线电机/执行器® 紧凑、快速、长行程， PiezoWalk 原理® 行程范围 20 mm 体积小，设计便宜 分辨率达 0.03 nm 驱动力高达 10 N 纳米级精度和高进给力，采用 PiezoWalk 步进驱动器® 在 PiezoWalk 步行驱动器中，多个压电陶瓷促动器执行步行运动，导致转轮向前进给。对促动器的控制允许以远低于 1 纳米的分辨率进行最小的步进和前进进给运动。® 使用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学线性编码器直接在平台上以最高精度测量位置。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 工业级精密定位 半导体技术 半导体测试 晶圆检测 光刻 纳米压印 纳米计量学 规格 选择行程范围： 20 毫米 运动 编号 N-310.11 宽容 活动轴 X X 轴行程范围 20 毫米 X 轴行程范围 （模拟模式） 10 微米 麦克斯。 最大速度（X 轴），空载 10 毫米/秒 定位 编号 N-310.11 宽容 全步模式下的步长 10 微米 X 轴分辨率，开环 0.03 纳米 类型。 驱动器属性 编号 N-310.11 宽容...
分类：
描述
N-310 NEXACT OEM 微型直线电机/执行器®
紧凑、快速、长行程， PiezoWalk 原理®
- 行程范围 20 mm
- 体积小，设计便宜
- 分辨率达 0.03 nm
- 驱动力高达 10 N
纳米级精度和高进给力，采用 PiezoWalk 步进驱动器®
在 PiezoWalk 步行驱动器中，多个压电陶瓷促动器执行步行运动，导致转轮向前进给。对促动器的控制允许以远低于 1 纳米的分辨率进行最小的步进和前进进给运动。®
使用增量式线性编码器进行高精度位置测量
非接触式光学线性编码器直接在平台上以最高精度测量位置。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。
应用领域
- 工业级精密定位
- 半导体技术
- 半导体测试
- 晶圆检测
- 光刻
- 纳米压印
- 纳米计量学
规格
| 运动 | 编号 N-310.11 | 宽容 |
|---|---|---|
| 活动轴 | X | |
| X 轴行程范围 | 20 毫米 | |
| X 轴行程范围 （模拟模式） | 10 微米 | 麦克斯。 |
| 最大速度（X 轴），空载 | 10 毫米/秒 | |
| 定位 | 编号 N-310.11 | 宽容 |
| 全步模式下的步长 | 10 微米 | |
| X 轴分辨率，开环 | 0.03 纳米 | 类型。 |
| 驱动器属性 | 编号 N-310.11 | 宽容 |
| 驱动器类型 | NEXACT® 压电陶瓷步行驱动器 | |
| 工作电压 | -10 至 +45 V | |
| X 轴驱动力 | 10 牛 | 类型。 |
| 机械性能 | 编号 N-310.11 | 宽容 |
| X 轴上的保持力，被动 | 12 牛 | 麦克斯。 |
| 总重量 | 50 克 | ±5 % |
| 材料 |
不锈钢、陶瓷;电缆： PFA， PTFE |
|
| 杂项 | 编号 N-310.11 | 宽容 |
| 工作温度范围 | 0 至 50 °C | |
| 连接器 | HD D-sub 15 （男） | |
| 电缆长度 | 1.5 米 | ±50 毫米 |
| 推荐的控制器/驱动程序 |
编号 E-712、E-861、E-861.11C885 |
最大速度（X 轴），空载：取决于驱动电子元件
X 轴分辨率，开环：取决于驱动电子元件
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