N-216 NEXLINE 线性执行器® 长行程距离上的纳米定位，高力，PiezoWalk 原理® 力产生达 600 N 夹持力达 800 N 行程范围 20 mm 集成分辨率为 5 nm 的直接测量线性编码器 应用领域 工业级精密定位 半导体技术 半导体测试 晶圆检测 光刻 纳米压印 纳米计量学 在强磁场和真空中运动 纳米级精度和高进给力，采用 PiezoWalk 步进驱动器® 几个压电陶瓷促动器在 PiezoWalk 步行驱动器中执行行走运动，导致转轮向前进给。对促动器的控制允许以远低于 1 纳米的分辨率进行最小的步进和前进进给运动。® 使用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光栅直接在平台上以最高精度测量位置。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 适用于复杂的真空应用 PI 的压电电机可设计为在真空中使用，并适合在强磁场中运行。为此，可以使用特殊版本的驱动器。压电陶瓷步进驱动器也可用于洁净室或紫外线辐射较强的环境中   规格 运动 编号 N-216.1A1 编号 N-216.2A1 宽容 活动轴 X X   X 轴行程范围 20 毫米 20 毫米   X...